集成電路制造的過(guò)程離不開(kāi)各類不同純度、不同壓力、性質(zhì)各異的氣體參與。人們通過(guò)各種各樣的減壓閥來(lái)控制這些氣體壓力，如果說(shuō)這些減壓閥是氣體控制零件中的皇冠的話，那么派克漢尼汾旗下的SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列超高純減壓閥就是這個(gè)皇冠上的明珠。

SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥從誕生至今，始終致力于立足行業(yè)應(yīng)用的前沿領(lǐng)域。

SQ2MICRO系列

SMSQ2MICRO系列

-它針對(duì)超高純應(yīng)用而設(shè)計(jì)，強(qiáng)大的性能和規(guī)格使其非常適用于關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造設(shè)備。

-MFC是影響集成電路制造的可重復(fù)性及良率的重要組件，SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥能提供非常準(zhǔn)確和可靠的壓力控制，讓MFC(質(zhì)量流量計(jì))的表現(xiàn)更加出色。

-除此之外，它還在氣密完整性和顆粒物生成方面表現(xiàn)出色，這些對(duì)于減少半導(dǎo)體制程的污染至關(guān)重要。

那么，為什么SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥有如此好的表現(xiàn)呢？答案藏在細(xì)節(jié)之中：

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